液體質量流量控制器的原理

液體質量流量控制器是氣體質量流量的自動控制裝置，液體質量流量計是測量液體質量流量的裝置。

質量流量控制器的流量控制原理是利用熱容的質量流量測量原理和流量控制閥的PID控制，通過調節開度來自動控制質量流量。

液體質量流量控制器特點[LINTEC]

LINTEC的液體MFC/MFM（質量流量控制器）對應半導體行業對TEOS等液體汽化供應技術的需求，提供*于世界的液體質量流量控制技術。

液體質量流量控制

液體流量測量對象包括體積流量和流速，從精度と穩定性的角度來看，微小流量的液體質量流量控制已成為半導體成膜工藝中不可或缺的技術。

高精度

在半導體制造過程中，薄膜是通過蒸發TEOS（原硅酸四乙酯）等液體源來形成的，它比氣體更便宜且更易操控。在制造過程中，供應量較大，*原材料往往采用低蒸氣壓材料。 在傳統的氣體MFC烘烤法烘焙法中，供給量和耐熱溫度成為瓶頸，因此誕生了溫度限制少且供給量大的直接氣化法。然而，在直接汽化法中，由于反應氣體的流量是在液相中控制的，因此即使很小的誤差也會嚴重影響反應。

以H2O為例，如果1ml液相在0℃理想條件下汽化，則會膨脹至1,244ml。由此可見，對微小流量進行高精度的流量控制、汽化并使其反應，已成為半導體制造設備中不可或缺的技術。

穩定性

液體流量計使用范例

1ml/min以下的流量控制裝置中包括計量泵，計量泵由于連續的機械切換操作而產生脈動。 沒有機械切換的注射泵不會產生脈動，但泵的容積有限，不適合連續供給。

另外，當通過控制流量將液體引入真空裝置時，由于計量泵存在壓差，無法得到穩定的流量。

液體MFC的流量控制是將氣體等加壓至恒壓的液體引入液體質量流量控制器，用內部流量傳感器檢測瞬時流量，不斷控制閥門開度，即使二次壓力減壓或在大氣壓下也可實現恒定流量控制。

液體MFC/MFM相關產品

液體MFM（質量流量計）

高性能液體MFM（質量流量計）

LM-3000L

特點：微流量液體測量，PID控制信號（帶汽化器和CV設定），金屬密封件，無塵

選配規格：高溫兼容

液體MFC（質量流量控制器）

高性能液體MFC（質量流量控制器）

LC-3000L

特點：微流量液體控制，金屬密封件，無塵

科里奧利液體MFC（質量流量控制器）

LC-4000

特點：無需CF、大流量液體控制、無塵

應用質量流量控制器技術的其他產品

液體控制閥【CV-1000】

CV-1000

特點：比例電磁閥，金屬密封件，無塵

搭載微小流量液體傳感器并內置PID控制器的高性能數字通訊液體質流控制器。

LM-3000L系列搭載高性能液體流量傳感器，可對C2H5OH換算滿量程0.1g/min～20g/min實現高度的流量測量。

由于它具有內置PID控制器，因此可以通過與LINTEC的閥門搭載產品（汽化器，控制閥）結合使用來控制液體的流量。

LM-3000L

特點

• 微小流量的液體測量

• 液體氣化的流量控制

• 精度范圍±1%F.S.

• 金屬密封件

• 無塵生產（粒子標準監控）

• RS-485數字通訊接口

選配規格

• 耐高溫

• 無菌蒸汽（SPI）處理

使用范例

液體汽化流量控制

通過將液體質量流量計（LM-3000L）與LINTEC內置控制閥的汽化器（VU）相結合，可以控制在汽化室之前引入汽化器的流量。因此，實現了應答速度快的汽化流量控制，且不受汽化器熱量的影響。

液體流量控制

通過將LINTEC的控制閥（CV-1000）與帶有內置PID控制器的液體質量流量計（LM-3000L）相結合，可以用作液體質量流量控制器。

規格表

※此表僅表示一般規格的液體用MFM。　根據選配規格變化。
※F.S.根據液體種類不同而變化。詳細請咨詢LINTEC。