NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

特長


1. NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。




2. 低噪音、低振動




3. 優良的耐腐蝕性




4. 標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。




5. 選購件




6. 可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。



用途


7. ?  活性氣體（CVD、刻蝕等）。




8. ?  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。




9. ?  用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）




10. ?  作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。




11. ?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。



• 技術參數
• 外形尺寸圖
• 抽氣速率曲線

* 1  極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。

* 2  無結露。

* 3  用調節閥所調整的壓力表的值。

* 4  氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。

北崎9年，日本會社20年，專注領域如下：

光源相關：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

儀器相關：

山高SANKO（代理）、東機產業TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設備相關：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN

電氣控制：

SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）