日本HORIBA堀場EC-5104 排氣壓力控制器北崎供應

發布時間：2025/02/12 11:36:37 發布廠商：北崎國際貿易（北京）有限公司 >> 進入該公司展臺

HORIBA堀場EC-5104 排氣壓力控制器北崎供應

排氣壓力控制器

它是一個排氣壓力控制器，不斷將腔室的內部壓力控制到任意值。高分辨率步進電機和結構的蝶閥實現了高速響應和高分辨率性能。

業務領域：半導體

產品類別：流體控制

制造商： HORIBA STEC， Co.， Ltd.

EC-5104 系列

框架尺寸	西北 40
氣體接觸材料	SUS-316L，氟橡膠 ®
電導率（真空范圍）	0.4 ? 80 升/秒
100 mmH2O 時的出口流量（完全關閉）	20 升/分鐘

可滾動

EC-5105 系列

框架尺寸	西北 50
氣體接觸材料	SUS-316L，氟橡膠 ®
電導率（真空范圍）	0.6 ? 200 升/秒
100 mmH2O 時的出口流量（完全關閉）	25 升/分鐘

可滾動

EC-5202 系列

框架尺寸	25mm 特氟龍®配件 1 英寸特氟龍®配件
氣體接觸材料	PTFE、PEEK、氟橡膠 ®
電導率（真空范圍）	0.4 ? 80 升/秒
100 mmH2O 時的出口流量（完全關閉）	3 升/分鐘

可滾動

北崎8年，日本會社20年，專注領域如下：
儀器相關：
山高SANKO（代理）、東機產業TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

HORIBA堀場

EC-5104

排氣壓力控制器

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日本HORIBA堀場EC-5104 排氣壓力控制器北崎供應

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