HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制器GR-511F北崎供應

HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制器GR-511F北崎供應

晶圓背面壓力控制系統

GR-511F 可對晶圓背面溫度控制不可或缺的氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩定且高精度的壓力控制。 配備高速、高分辨率的壓電閥和質量流量傳感器，不僅可以準確穩定地控制微小壓力，還可以測量流量。

這是一款配備數字控制電路的自動減壓閥，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率和快速響應的壓電閥。 可通過各種外部信號遠程控制，壓力自動調節。
由于氣體接觸部分采用全金屬，死體積*小，因此非常適合腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體。

• 即使在受瞬時波動影響的線路上也能實現穩定的壓力控制。
• 簡化的氣體管路可顯著降低死體積
• 鼓泡液體材料時任意設置容器中的壓力
• 支持數字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT 通信
• 使用 Tornado Flow 方式的高效汽化可在低溫下實現穩定的汽化。 該型號非常適合作為半導體工藝中使用的“液體材料，例如高 k 材料”的穩定汽化系統。 用于載氣控制的質量流量控制器和用于液體材料流量測量的質量流量計的設置完善了高效的汽化系統。
  

GR-511F 規格

尺寸 （單位： mm）

GR-511F 尺寸

• 使用經過驗證的電容式壓力傳感器可在低壓下實現的壓力控制。
• 在壓力控制期間對氣體流量進行高精度監測。